公开(公告)号：CN117902330B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410164598.1

申请日：2024-02-05

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  张良 ,  施家胜 ,  耿林 ,  何祠龙

IPC: B65G54/02

Abstract: 本发明涉及非接触精密移动领域，具体公开一种基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置，包括基座、竖直振动单元、水平振动单元和U形振动组件，多个所述竖直振动单元沿基座长度方向线性分布在基座的中间支撑台面上，两个所述水平振动单元分别横向固定于基座两侧的支撑体顶端，且二者同轴相向设置，U形振动组件悬浮于竖直振动单元上方，且其两侧的两个立面分别与两所述水平振动单元非接触定位配合。本发明的基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置结构简单、易于加工、成本低，具有精度高、能量损失少、摩擦极小、无磨粒污染等特点，可广泛应用于半导体及其他精密部件的非接触定位及移动。

公开(公告)号：CN117902330A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202410164598.1

申请日：2024-02-05

Applicant: 安徽大学

Inventor： 刘远远 ,  张良 ,  施家胜 ,  耿林 ,  何祠龙

IPC: B65G54/02

Abstract: 本发明涉及非接触精密移动领域，具体公开一种基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置，包括基座、竖直振动单元、水平振动单元和U形振动组件，多个所述竖直振动单元沿基座长度方向线性分布在基座的中间支撑台面上，两个所述水平振动单元分别横向固定于基座两侧的支撑体顶端，且二者同轴相向设置，U形振动组件悬浮于竖直振动单元上方，且其两侧的两个立面分别与两所述水平振动单元非接触定位配合。本发明的基于对称驻波型近场声悬浮的非接触移动装置结构简单、易于加工、成本低，具有精度高、能量损失少、摩擦极小、无磨粒污染等特点，可广泛应用于半导体及其他精密部件的非接触定位及移动。