公开(公告)号：CN119648675A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411791712.X

申请日：2024-12-06

Applicant: 季华实验室

Inventor： 徐澳 ,  李延伟 ,  谢虹波 ,  杨睿 ,  李建杰 ,  费强 ,  刘华秋 ,  徐彩前

IPC: G06T7/00 ,  G06V10/774 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06V20/70 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/048 ,  G06N3/084

Abstract: 本申请公开了一种晶圆检测模型训练方法、检测方法、系统、设备及介质，包括获取晶圆表面缺陷图像集合，对晶圆表面缺陷图像集合进行类别标注，构建晶圆缺陷检测数据集，构建改进RT‑DETR模型，根据晶圆缺陷检测数据集，对改进RT‑DETR模型进行训练，直至训练结束，得到晶圆检测模型，将所述晶圆待检测图像输入预先训练的晶圆检测模型，输出所述晶圆待检测图像的检测结果，输出所述晶圆待检测图像的缺陷概率及标记，经过改进后的RT‑DERT模型，有效提高了对小颗粒以及细长状划痕等的检测性能。