一种多价态过渡金属离子掺杂LiPON固态薄膜电解质、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN116053572A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202310045297.2

    申请日:2023-01-30

    Abstract: 本发明提供一种多价态过渡金属离子掺杂LiPON固态薄膜电解质、制备方法及其应用,属于固态薄膜锂离子电池关键材料技术领域。该固态电解质为多价态过渡金属TM掺杂LiPON的非晶态氮化物薄膜,所述过渡金属TM为拥有6种及6种以上化合价的D区过渡金属元素。制备时,首先清洗硅基及金属基衬底材料,其次制备TM‑Li3PO4复合靶材,最后通过磁控溅射系统得到非晶态氮化物薄膜电解质。将其作为固态电解质组装全固态薄膜电池。本发明组装全固态薄膜电池,可达到高安全性、高能量密度及优异的可集成性要求,是解决未来微型储能器件以及动力电池发展需求的有效方式。

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