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公开(公告)号：CN112461265B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202011316710.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于超精密加工领域，公开了一种石英半球谐振子纳米制造方法，实现了石英半球陀螺谐振子从宏观制造到纳米制造一体化的方法，首先采用轨迹法对工件进行磨削和超精密磨削。其次利用激光干涉成像，采用自主研发的化学机械抛光液对不符合表面精度和形位精度的区域进行限域化学机械抛光，最后使用离子束对工件和不满足加工要求的区域进行修型。最终达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。本发明为半球陀螺的加工提供的新的方法和新思路，达到了加工要求，满足了军工国防，航空航天和一些民用设备的需求。
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公开(公告)号：CN115287765A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210813681.8
申请日：2022-07-11
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提出一种单晶氧化铜纳米线和铜纳米线的简易制备方法。本发明利用恒温加热台加热透射电镜用的普通铜载网，并保温3‑5h，可以制备单晶氧化铜纳米线。将载有氧化铜纳米线的铜网放入还原性气氛中加热保温1‑3h得到单晶铜纳米线。本发明是一种简单廉价的纳米线制备方法。
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公开(公告)号：CN113504393B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110768286.8
申请日：2021-07-07
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供了一种环境气氛电镜原位加热和原位通电样品的制备方法。先利用聚焦离子束沉积一层1‑2μm的保护层，然后用较大束流减去目标样品周围多余的材料，得到一个微米片，在不转移目标样品的前提下继续用低束流进行样品减薄直至样品厚度为100‑200nm；将样品转移到机械手上，用较低的束流和电压在机械手上进行精减薄使其厚度达到50‑70nm，最终转移到芯片上的一种样品制备的方法。本方法可以在不损伤芯片，保证芯片的气密性的前提下，制备具有高分辨率，低损伤，薄度良好的环境透射样品。本发明是一种不损坏芯片的原位环境芯片的制备方法。
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公开(公告)号：CN113600995B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202110904153.9
申请日：2021-08-06
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种石英半球谐振子原位形性检测离子束抛光原子制造装备及方法，装备包括数控系统、安装在机床上的微尺度移动平台装置以及安装在机床底座上的原位形性检测装置、频差检测装置、离子束加工装置、传送装置和工作台，数控系统接收由原位形性检测装置测得的石英半球谐振子形位精度和轮廓及由频差检测装置测得的石英半球谐振子频差，进行精确计算，生成指令传送回微尺度移动平台装置，带动夹具进行移动，同时控制离子束加工装置，对石英半球谐振子进行精密加工。本发明可显著降低废品率，对石英半球谐振子高质高效地进行精密加工。
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公开(公告)号：CN113231828A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110455459.0
申请日：2021-04-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: B23P23/04
Abstract: 本发明提供铣磨抛原位成像一体化智能装备及加工方法，包括床身和安装在床身内的测量舱、加工舱，测量舱内设有用于抓取工件的上下料机构，加工舱内安装有五轴联动系统以及刀具选取机构，五轴联动系统包括用于调整刀具空间位姿的刀具位移机构和用于调整待修整工件空间位姿的工件位姿调节机构，刀具选取机构包括安装在加工舱内的链式刀库和换刀器，链式刀库布有多个刀具安装位，刀具安装位中分别安装有铣刀、磨轮以及抛光轮，刀具位移机构包括主轴箱，其内安装有用于安装刀具的主轴，其上还开设若干用于喷射铣削液、磨削液和抛光液的孔。本发明加工过程避免了二次装夹，铣削、磨削、抛光过程具有相同的走刀路径，能显著提高加工后的零件的形位精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112461264A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011316697.5
申请日：2020-11-20
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于纳米制造、超精密加工、特种加工技术领域，提供了一种石英半球谐振子纳米制造装备。在原有的数控机床基础进行改造。该装备包括：数控微纳移动旋转平台、分度装置、聚焦离子束装置、化学机械抛光装置，激光干涉仪检测成像装置，辅助功能装置等。本装备可以实现一次装夹，同时完成磨削，超精密磨削，化学机械抛光，表面精度测量和离子束加工修型等几道工序，涉及到从宏观的材料去除到微观的纳米材料加工，实现的半球陀螺宏微纳一体化制造加工，使其达到表面粗糙度，圆度，圆柱度均小于100nm。
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公开(公告)号：CN112226043A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011093884.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供了一种超高抗磨损石墨烯环氧树脂复合材料制备方法，属于宏观润滑技术领域。本发明首先采用物理共混法将石墨烯粉末与环氧树脂均匀混合，然后在高温条件下固化制备出具有超低磨损率的石墨烯环氧树脂复合材料。本发明采用溶液共混发将石墨烯以及环氧树脂均匀的结合起来，提高了环氧树脂的摩擦磨损性能，拓展了环氧树脂在摩擦学领域的应用。
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公开(公告)号：CN108760438B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201810788822.9
申请日：2018-07-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N1/28
Abstract: 一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法，在聚焦离子束系统中将样品台倾转54°，样品待切割部分沉积Pt保护层，利用4nA的离子束将样品待切割部分四周材料去除，形成微米片，利用离子束对微米片进行修整，将样品台倾转28‑38°，将机械手上的微米片焊接在拉伸装置上，将样品台倾转‑18‑5°，用2nA的离子束将微米片切割为工字型，微米片中间部分宽度为0.5‑3.5μm，先用离子束沉积一层Pt层，然后利用离子束对微米片进行减薄，使微米片厚度减薄至50‑150nm，在透射电镜中对样品进行原位拉伸实验。本发明提供一种透射电镜原位力学拉伸样品制备方法，实现了块体材料的透射电镜原位力学拉伸实验的样品制备。
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公开(公告)号：CN111024733A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911357081.X
申请日：2019-12-25
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20058 , G01N23/20025
Abstract: 本发明公开了一种透射电子显微镜双倾样品杆，包括顺次相连的样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄四个主要部分。样品台上装有可旋转样品坩埚、可拆卸式压片以及微调齿轮，样品可随可旋转坩埚绕电子束入射方向旋转；样品杆外壳与样品台固定连接，外壳部分可以与电镜测角台合理匹配；样品杆内芯前端为与微调齿轮配合的传动齿条，后段与手柄内的直线伺服电机通过联轴器连接，内芯直线运动带动可旋转坩埚转动；手柄内部设有控制内芯运动的直线伺服电机及传动机构。本发明的倾转方式采用绕轴向翻转和绕电子束入射方向旋转相结合的方式。与现有样品杆相比，所设计的双倾样品杆β方向的倾转角度提高了67％，大大提高了现有双倾样品杆的测试性能。
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公开(公告)号：CN110116348A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910349506.6
申请日：2019-04-28
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供了一种微型球体钇钡铜氧高温超导体磨削方法，属于微型机械加工技术领域。采用磨床对立方体钇钡铜氧超导体进行磨削，加工出球体钇钡铜氧超导体。将微型钇钡铜氧将样品固定圆柱体夹具中，并将夹具固定在水平工作台上。调整工作台和砂轮主轴之间的夹角，使之夹角为5～10°。设置砂轮主轴转速为2500～3500r/min。设置工作台沿水平方向进给量0.2～0.5mm/min。之后调整工作台主轴转速为200～300r/min。使样品沿X轴旋转运动。加工完成样品半径约为0.9mm。本发明实现了微型球体钇钡铜氧超导体加工新方法。
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