公开(公告)号：CN1307248A

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN01103393.2

申请日：2001-01-31

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中尚幸 ,  高山昌也

IPC: G02F1/1343

CPC classification number: G02F1/133553 ,  G02F1/13452 ,  G02F2201/123

Abstract: 液晶显示设备(100)包括基本基板(10)上的反射电极(12)。反射电极(12)具有双层结构,包含Mo的第一金属层(16)和在第一金属层(16)上形成的包含Al的第二金属层(14)。通过形成第一金属层(16)使表面上的Mo的最大颗粒尺寸为60nm或更小,可以抑制在第二金属层(14)中产生小孔。在诸如用碱性去除剂除去抗蚀图案的过程中,可以抑制/防止在小孔周围的位置发生第二金属层(14)的部分损耗。

公开(公告)号：CN1164970C

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN01103393.2

申请日：2001-01-31

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中尚幸 ,  高山昌也

IPC: G02F1/1343

CPC classification number: G02F1/133553 ,  G02F1/13452 ,  G02F2201/123

Abstract: 液晶显示设备(100)包括基本基板(10)上的反射电极(12)。反射电极(12)具有双层结构，包含Mo的第一金属层(16)和在第一金属层(16)上形成的包含Al的第二金属层(14)。通过形成第一金属层(16)使表面上的Mo的最大颗粒尺寸为60nm或更小，可以抑制在第二金属层(14)中产生小孔。在诸如用碱性去除剂除去抗蚀图案的过程中，可以抑制/防止在小孔周围的位置发生第二金属层(14)的部分损耗。