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公开(公告)号：CN117497630A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311210549.9
申请日：2023-09-19
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L31/108 , H01L31/02 , H01L31/18 , G01J1/42
Abstract: 本发明涉及一种基于声表面波增强的光电探测器，包括压电材料衬底，其中，压电材料衬底的表面设置有叉指换能器和肖特基结光电探测单元，肖特基结光电探测单元与外部电路相连接，叉指换能器和压电材料衬底在中心频率交流信号下产生声表面波，肖特基结光电探测单元设置在声表面波传播中心位置。与现有技术相比，本发明通过声表面波来对传统的结区类型光电探测器进行增强，能够大幅度提高器件整体的光电响应，增强光电转化的效率以及光电探测能力，具有光电转换效率高、探测灵敏度高、弱光响应强、光电探测电极图形简单、工艺简单等优点。
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