公开(公告)号：CN111463310B

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN202010300626.X

申请日：2020-04-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 万景 ,  宗钰

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0232

Abstract: 本发明公开了一种单晶体管多维度光信息探测器，其包含：衬底、下氧化层、沟道层、上氧化层、源区、漏区、第一上栅极、第二上栅极、以及偏振光栅；其中，衬底、下氧化层、沟道层、上氧化层由下向上依次叠置，源区和漏区设在沟道层的两端；衬底作为下栅极；第一上栅极和第二上栅极设在上氧化层上；偏振光栅设在第一上栅极上或第二上栅极上。本发明的光电探测器具有3个栅极，调控两个上光电栅极与下栅极(衬底)的耦合效应，可以分别提取出入射光的光强，波长和偏振信息。相比于传统的多波长和偏振探测器，其光电功能更加丰富，体积小巧且成本低。

公开(公告)号：CN111463310A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010300626.X

申请日：2020-04-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 万景 ,  宗钰

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0232

Abstract: 本发明公开了一种单晶体管多维度光信息探测器，其包含：衬底、下氧化层、沟道层、上氧化层、源区、漏区、第一上栅极、第二上栅极、以及偏振光栅；其中，衬底、下氧化层、沟道层、上氧化层由下向上依次叠置，源区和漏区设在沟道层的两端；衬底作为下栅极；第一上栅极和第二上栅极设在上氧化层上；偏振光栅设在第一上栅极上或第二上栅极上。本发明的光电探测器具有3个栅极，调控两个上光电栅极与下栅极(衬底)的耦合效应，可以分别提取出入射光的光强，波长和偏振信息。相比于传统的多波长和偏振探测器，其光电功能更加丰富，体积小巧且成本低。