一种平面光波导振动传感器芯片悬臂梁的制作方法

    公开(公告)号:CN103954347A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410197243.9

    申请日:2014-05-12

    Abstract: 本发明涉及一种平面光波导振动传感器芯片悬臂梁的制作方法,其采用水辅助飞秒激光加工法在平面光波导分路芯片加工悬臂梁,分别在每条输入分路光波导的两侧平行挖出一对等长的纵向凹槽,而后在输入分路光波导所在芯层区域之下,切割出一个底部间隙,使两侧的纵向凹槽在底部连通,而后在两侧的纵向凹槽的前端挖出一条连通两侧的纵向凹槽的横向凹槽,所述纵向凹槽、横向凹槽、底部间隙包围的中间区域形成可自由振动的悬臂梁。本发明可以加工出较大尺寸的悬臂梁,悬臂梁尺寸在μm数量级或mm数量级,制作的平面光波导振动传感器芯片不仅能响应高频率波段机械振动,而且能响应低频率波段机械振动。

    一种太阳能供能的空气制冷取水系统及设计方法

    公开(公告)号:CN114353375A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202111575477.9

    申请日:2021-12-21

    Abstract: 本发明涉及取水系统技术领域,具体地说是一种太阳能供能的空气制冷取水系统及设计方法,包括太阳能供电系统、制冷循环系统、风机和集水器;所述太阳能供电系统主要由太阳能电池板、控制器、蓄电池组成,制冷循环系统由蒸发器、冷凝器、压缩机、膨胀阀组成,制冷剂在其中流动完成吸热、放热的循环,蒸发器、冷凝器处均有风机提供空气与制冷剂进行热交换,集水器入口与蒸发器空气出口通过管道相连,设计方法为:根据空气温度、湿度以及空气流量确定最小换热量,由此得到蒸发器所需最小换热面积,由蒸发器和压缩机的换热量得到冷凝器的换热量,进而求得冷凝器所需的换热面积,解决了现有取水方式易受环境限制、无法广泛使用、有能耗污染的问题。

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