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公开(公告)号：CN103954347A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410197243.9
申请日：2014-05-12
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种平面光波导振动传感器芯片悬臂梁的制作方法，其采用水辅助飞秒激光加工法在平面光波导分路芯片加工悬臂梁，分别在每条输入分路光波导的两侧平行挖出一对等长的纵向凹槽，而后在输入分路光波导所在芯层区域之下，切割出一个底部间隙，使两侧的纵向凹槽在底部连通，而后在两侧的纵向凹槽的前端挖出一条连通两侧的纵向凹槽的横向凹槽，所述纵向凹槽、横向凹槽、底部间隙包围的中间区域形成可自由振动的悬臂梁。本发明可以加工出较大尺寸的悬臂梁，悬臂梁尺寸在μm数量级或mm数量级，制作的平面光波导振动传感器芯片不仅能响应高频率波段机械振动，而且能响应低频率波段机械振动。
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