公开(公告)号：CN105004286B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201510255809.3

申请日：2015-05-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  吴东旭 ,  张鹏 ,  乔政 ,  王会茗

IPC: G01B11/30

Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量方法，其步骤如下：一、将激光器预热；二、将激光器、线性衰减片、小孔光阑、透镜、CCD相机调整在同一高度；三、将工件安装在回转工作台上，打开激光器，激光器输出的激光束依次经线性衰减片和小孔光阑后照射到工件表面，转动回转工作台以调整激光束的入射角度；四、激光束在工件表面发生衍射现象，产生衍射光斑，衍射光斑按照不同级次分布开，通过透镜后，被调整为平行光束；五、CCD相机采集衍射光斑图像，得到各级衍射光斑的强度和位置关系，再利用光栅方程计算出表面三维微观形貌的大小。本发明光路系统调整简单，对测量环境要求不严格，可以在加工现场使用该方法。

公开(公告)号：CN105091780A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510255808.9

申请日：2015-05-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  吴东旭 ,  张鹏 ,  乔政 ,  王会茗

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置，由半导体激光器、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、CCD相机、铝合金面包板、激光器电源和笔记本电脑组成，半导体激光器输出的激光束通过线性衰减片后经过小孔光阑，小孔光阑对激光束进行滤波，被调制的激光束作为入射光照射到被测工件表面，在被测工件表面发生衍射现象，产生衍射光斑，透镜将激光束各级衍射光斑调整为平行光束，利用CCD相机对激光束各级衍射光斑进行测量并将测量结果传输到笔记本电脑中，通过图像采集软件对衍射光斑图像进行采集。本装置光路系统调整方便，对测量环境要求不严格，具有一定的便携性。

公开(公告)号：CN105004286A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510255809.3

申请日：2015-05-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王波 ,  吴东旭 ,  张鹏 ,  乔政 ,  王会茗

IPC: G01B11/30

Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量方法，其步骤如下：一、将激光器预热；二、将激光器、线性衰减片、小孔光阑、透镜、CCD相机调整在同一高度；三、将工件安装在回转工作台上，打开激光器，激光器输出的激光束依次经线性衰减片和小孔光阑后照射到工件表面，转动回转工作台以调整激光束的入射角度；四、激光束在工件表面发生衍射现象，产生衍射光斑，衍射光斑按照不同级次分布开，通过透镜后，被调整为平行光束；五、CCD相机采集衍射光斑图像，得到各级衍射光斑的强度和位置关系，再利用光栅方程计算出表面三维微观形貌的大小。本发明光路系统调整简单，对测量环境要求不严格，可以在加工现场使用该方法。