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公开(公告)号：CN106932173B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201710222479.7
申请日：2017-04-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法，所述方法步骤如下：一、光栅三维转动精度的测量：将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光和一级衍射光获得待拼接光栅的三维转动拼接精度：俯仰角θx、偏转角θy、旋转角度θz；二、光栅二维平动精度的测量：将俯仰角θx、偏转角θy以及旋转角度θz调整至合格范围，将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光的远场焦斑能量比值测量光栅的二维平动精度。本发明具有测量精度高、各自由度间耦合度弱、操作简便、能够有效地提高光栅的拼接效率和拼接精度等优点，可用于拼接光栅的空间五自由度拼接精度测量。
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公开(公告)号：CN106067327A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610352556.6
申请日：2016-05-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
CPC classification number: G12B5/00
Abstract: 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置，目的是为解决大口径光栅拼接无法实现纳米级精度多自由度解耦调整的问题。多自由度的调整由三个运动平台实现，柔性支柱与两个压电陶瓷驱动器一连接着第一、二平台，两个压电陶瓷驱动器一的伸缩各控制着第一平台的X、Y方向的转动；第二平台通过两个弹性片簧和两个压电陶瓷驱动器二与第三平台连接，第二平台内悬浮于第三平台内，两个压电陶瓷驱动器二可以调节X方向平动和Z方向转动；第三平台与大理石底座之间有一个压电陶瓷驱动器三负责Y方向平动。本发明能实现光栅在‑0.05～+0.05mm超短行程范围内的精密调整，并能实现光栅10纳米的平动拼接精度。本发明用于大口径光栅拼接的高精度多自由度解耦调整。
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公开(公告)号：CN106067327B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201610352556.6
申请日：2016-05-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置，目的是为解决大口径光栅拼接无法实现纳米级精度多自由度解耦调整的问题。多自由度的调整由三个运动平台实现，柔性支柱与两个压电陶瓷驱动器一连接着第一、二平台，两个压电陶瓷驱动器一的伸缩各控制着第一平台的X、Y方向的转动；第二平台通过两个弹性片簧和两个压电陶瓷驱动器二与第三平台连接，第二平台内悬浮于第三平台内，两个压电陶瓷驱动器二可以调节X方向平动和Z方向转动；第三平台与大理石底座之间有一个压电陶瓷驱动器三负责Y方向平动。本发明能实现光栅在‑0.05～+0.05mm超短行程范围内的精密调整，并能实现光栅10纳米的平动拼接精度。本发明用于大口径光栅拼接的高精度多自由度解耦调整。
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公开(公告)号：CN106932173A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710222479.7
申请日：2017-04-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/088
Abstract: 本发明公开了一种高精度大口径光栅五自由度拼接精度的测量方法，所述方法步骤如下：一、光栅三维转动精度的测量：将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光和一级衍射光获得待拼接光栅的三维转动拼接精度：俯仰角θx、偏转角θy、旋转角度θz；二、光栅二维平动精度的测量：将俯仰角θx、偏转角θy以及旋转角度θz调整至合格范围，将测试光束入射至待拼接光栅的拼缝处，根据拼接光栅产生的零级反射光的远场焦斑能量比值测量光栅的二维平动精度。本发明具有测量精度高、各自由度间耦合度弱、操作简便、能够有效地提高光栅的拼接效率和拼接精度等优点，可用于拼接光栅的空间五自由度拼接精度测量。
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