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公开(公告)号：CN112857210A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110252682.5
申请日：2021-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将共轴传输且频率不同的两个激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束外差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束外差干涉信号，最终通过三自由度解耦方法对单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。
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公开(公告)号：CN114942017B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210599642.2
申请日：2022-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波前干涉图像的垂向激光指向校正装置及方法，包括：通过垂向激光发生模块获得垂向激光信号，将垂向激光信号传输至一体化传感模块，基于一体化传感模块产生干涉图像信号；将干涉图像信号输入信号处理模块进行高精度解耦运算，获得垂向激光相对于重力方向的角度偏差结果，根据角度偏差结果，实现垂向激光指向的实时校正。本发明的垂向激光指向校正装置完全基于激光干涉测量原理，测量分辨力高，角度测量结果可直接溯源至激光波长，满足了高端装备对超精密垂向激光指向的需求。此外，本发明装置的一体化传感模块便于拆卸与重复安装，方便复用于多套装置，节省成本。
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公开(公告)号：CN112857210B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202110252682.5
申请日：2021-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将共轴传输且频率不同的两个激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束外差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束外差干涉信号，最终通过三自由度解耦方法对单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112857207B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202110252643.5
申请日：2021-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于阵列式探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将单一频率的激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束零差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束零差干涉信号，最终通过基于Lissajous椭圆拟合的三自由度解耦方法对单光束零差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。
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公开(公告)号：CN114942017A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210599642.2
申请日：2022-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波前干涉图像的垂向激光指向校正装置及方法，包括：通过垂向激光发生模块获得垂向激光信号，将垂向激光信号传输至一体化传感模块，基于一体化传感模块产生干涉图像信号；将干涉图像信号输入信号处理模块进行高精度解耦运算，获得垂向激光相对于重力方向的角度偏差结果，根据角度偏差结果，实现垂向激光指向的实时校正。本发明的垂向激光指向校正装置完全基于激光干涉测量原理，测量分辨力高，角度测量结果可直接溯源至激光波长，满足了高端装备对超精密垂向激光指向的需求。此外，本发明装置的一体化传感模块便于拆卸与重复安装，方便复用于多套装置，节省成本。
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公开(公告)号：CN114942016B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202210599638.6
申请日：2022-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉条纹解耦的垂向激光指向校正装置及方法，包括：通过垂向激光发生模块获得垂向激光信号，将垂向激光信号传输至一体化传感模块，基于一体化传感模块产生空间干涉图像；将空间干涉图像输入信号处理模块进行高精度解耦运算，获得垂向激光相对于重力方向的角度偏差结果，根据角度偏差结果，实现垂向激光指向的实时校正。本发明的垂向激光指向校正装置完全基于激光干涉测量原理，测量分辨力高，角度测量结果可直接溯源至激光波长，满足了高端装备对超精密垂向激光指向的需求。此外，本发明装置的一体化传感模块便于拆卸与重复安装，方便复用于多套装置，节省成本。
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公开(公告)号：CN114942016A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210599638.6
申请日：2022-05-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉条纹解耦的垂向激光指向校正装置及方法，包括：通过垂向激光发生模块获得垂向激光信号，将垂向激光信号传输至一体化传感模块，基于一体化传感模块产生空间干涉图像；将空间干涉图像输入信号处理模块进行高精度解耦运算，获得垂向激光相对于重力方向的角度偏差结果，根据角度偏差结果，实现垂向激光指向的实时校正。本发明的垂向激光指向校正装置完全基于激光干涉测量原理，测量分辨力高，角度测量结果可直接溯源至激光波长，满足了高端装备对超精密垂向激光指向的需求。此外，本发明装置的一体化传感模块便于拆卸与重复安装，方便复用于多套装置，节省成本。
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公开(公告)号：CN112857207A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110252643.5
申请日：2021-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于阵列式探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将单一频率的激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束零差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束零差干涉信号，最终通过基于Lissajous椭圆拟合的三自由度解耦方法对单光束零差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。
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