公开(公告)号：CN1613605A

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN200410044076.0

申请日：2004-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张飞虎 ,  王慧军 ,  康桂文 ,  栾殿荣

IPC: B24B1/00 ,  B24B13/00

Abstract: 一种超声波磁流变复合抛光方法及装置，它涉及超精密加工和光学加工技术领域。本发明方法采用小直径中空的回转抛光工具头(5)，在其内部通入混有磨料的磁流变液(13)，并施加一定的磁场，使磁流变液(13)在工具头(5)上形成有一定去除能力的柔性抛光工具，同时，施加超声振动，而实现抛光去除作用。本发明装置中超声波发生装置(3)的上端与电主轴(1)的输出端固定连接，其下部空套电磁铁(4)，其下端固定连接工具头(5)。本发明的抛光方法采用小直径中空的回转工具头，可实现较小曲率半径的凹曲面的抛光、特别是深凹面光学元件加工，可推广应用于自由曲面光学元件的超精密加工，提高抛光的去除效率；抛光设备具有结构简单、紧凑、操作方便、加工精度高的优点。

公开(公告)号：CN1328007C

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200410044076.0

申请日：2004-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张飞虎 ,  王慧军 ,  康桂文 ,  栾殿荣

IPC: B24B1/00 ,  B24B13/00

Abstract: 一种超声波磁流变复合抛光方法及装置，它涉及超精密加工和光学加工技术领域。本发明方法采用小直径中空的回转抛光工具头(5)，在其内部通入混有磨料的磁流变液(13)，并施加一定的磁场，使磁流变液(13)在工具头(5)上形成有一定去除能力的柔性抛光工具，同时，施加超声振动，而实现抛光去除作用。本发明装置中超声波发生装置(3)的上端与电主轴(1)的输出端固定连接，其下部空套电磁铁(4)，其下端固定连接工具头(5)。本发明的抛光方法采用小直径中空的回转工具头，可实现较小曲率半径的凹曲面的抛光、特别是深凹面光学元件加工，可推广应用于自由曲面光学元件的超精密加工，提高抛光的去除效率；抛光设备具有结构简单、紧凑、操作方便、加工精度高的优点。