公开(公告)号：CN119658401A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202510039518.4

申请日：2025-01-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王常虹 ,  孟祥瑞 ,  马广程 ,  夏红伟 ,  钟佳朋 ,  李方武 ,  雷晓飞 ,  庞羽

IPC: B23Q1/25

Abstract: 本发明提供了一种垂向运动的短行程超精密定位平台，属于微观定位结构装置的制造技术领域。本发明中新型洛伦兹力电机通过动子组件四象限永磁体阵列结构形式使其产生形似双曲线形状的气隙磁场，具有减小电磁推力波动的作用，使被控电机控制电流和电磁推力线性变化，降低定位平台的控制难度，提高定位精度；新型磁轴承采用非等宽Halbach的定子结构，增强了磁力线向动子永磁体聚拢的能力，提高了气隙磁场的径向分量，进而增加磁轴承的悬浮力大小，采用永磁体宽度不相等以及增加轴向和径向充磁永磁体之间轴向气隙用于减小悬浮力刚度的大小，提高定位平台定位精度和低频隔振性能。本发明可实现定位平台在毫米级别运动行程内高速、高加速度下的纳米级定位。