公开(公告)号：CN115325932B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202211025556.7

申请日：2022-08-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邢旭 ,  王嘉宁 ,  孙启凡 ,  孙云科 ,  胡鹏程 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02055 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明是一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置。本发明涉及外差激光干涉仪探测误差测量技术领域，本发明为了针对外差激光干涉仪光功率和对比度变化引起的探测误差测量困难、干扰因素众多的问题。通过调节干涉光的光功率和对比度等效待测目标的偏摆造成的对比度和光功率降低，能够分离位移、振动、空气扰动等干扰因素的影响。本发明外有着光路简洁、元器件少的特点，利于工程实现，并且在实现难易度、测量精度等方面都具有优势。

公开(公告)号：CN115325932A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202211025556.7

申请日：2022-08-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邢旭 ,  王嘉宁 ,  孙启凡 ,  孙云科 ,  胡鹏程 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02 ,  G01S17/08 ,  G01S7/48

Abstract: 本发明是一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置。本发明涉及外差激光干涉仪探测误差测量技术领域，本发明为了针对外差激光干涉仪光功率和对比度变化引起的探测误差测量困难、干扰因素众多的问题。通过调节干涉光的光功率和对比度等效待测目标的偏摆造成的对比度和光功率降低，能够分离位移、振动、空气扰动等干扰因素的影响。本发明外有着光路简洁、元器件少的特点，利于工程实现，并且在实现难易度、测量精度等方面都具有优势。