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公开(公告)号：CN205664955U
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201620533264.8
申请日：2016-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光源收集镜温度的空间分布测量系统，属于光学测量领域。为了解决常用的纳秒热反射试验装置的两束激光束很难同时聚焦在样品的表面以及信号的信噪比差的问题。所述激光束依次经过二向色镜、分束片和透镜直射在样品上；偏振出射光入射至快速响应探测器；重合激光束经过样品的反射后入射至快速响应探测器；第一激光束、第二激光束分别垂直入射到反光镜上；CCD的表面对第五激光束进行反射后与偏振出射光、第四激光束重合并照射到样品的表面；样品表面反射的激光束经过光阑入射至快速响应探测器。有益效果为很容易的将两束激光束聚焦到样品表面，将信号的信噪比提高一个数量级，适用于对极紫外光源收集镜温度的空间分布进行测量。
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