公开(公告)号：CN100566116C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200610009816.6

申请日：2006-03-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 曲建俊 ,  韩飞 ,  鲍春雨 ,  何雁彬 ,  程小军

IPC: H02N2/00 ,  B06B1/06 ,  F16M11/00

Abstract: 压电振子阵列及采用此阵列的平面三自由度的微动平台，它属于超声振动应用领域，它解决了微动平台能在同一平面内同时实现精确的直线运动和旋转运动的问题。本发明的压电振子阵列由同一平面内的东、南、西、北四个方位的振子群构成，上述四个振子群分别由至少一个正向条状振子(B1)和至少一个反向条状振子(B2)构成，所述正向条状振子(B1)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之一和八分之五处，所述反向条状振子(B2)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之三和八分之七处。采用此阵列的微动平台可以在同一平面内实现三个自由度的运动，且提高了微动台的响应速度和运动精度。

公开(公告)号：CN1819433A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610009816.6

申请日：2006-03-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 曲建俊 ,  韩飞 ,  鲍春雨 ,  何雁彬 ,  程小军

IPC: H02N2/00 ,  B06B1/06 ,  F16M11/00

Abstract: 压电振子阵列及采用此阵列的平面三自由度的微动平台，它属于超声振动应用领域，它解决了微动平台能在同一平面内同时实现精确的直线运动和旋转运动的问题。本发明的压电振子阵列由同一平面内的东、南、西、北四个方位的振子群构成，上述四个振子群分别由至少一个正向条状振子(B1)和至少一个反向条状振子(B2)构成，所述正向条状振子(B1)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之一和八分之五处，所述反向条状振子(B2)上的相邻两组拨齿组(3)分别设置在此条形振动体(2)振动波长的八分之三和八分之七处。采用此阵列的微动平台可以在同一平面内实现三个自由度的运动，且提高了微动台的响应速度和运动精度。