-
公开(公告)号：CN117300366A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311302663.4
申请日：2023-10-10
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/067
Abstract: 本发明公开了一种双激光束去除金属材料的方法，采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序的预热激光束和去除激光束，使预热激光束和去除激光束聚焦于金属材料的同一位置，且通过光程差实现了时空域能量分布的调制，重复扫描待去除区域的金属材料实现选择性去除。本发明还公开了其在半导体器件的金属电极失效区域修复的应用。通过时间调制的双激光束对金属材料进行选择性去除，限制了去除过程中热效应的集中累积和扩散，避免了单激光束去除过程中对金属材料附着基底的热影响所产生的缺陷。
Search Results
1
records
(took 0.012 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
