公开(公告)号：CN102607545A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210106144.6

申请日：2012-04-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 刘益芳 ,  李益盼 ,  何杰 ,  杨争雄

IPC: G01C19/5656

Abstract: 基于碳纳米管阵列场发射的微机械陀螺仪，涉及一种陀螺仪。提供一种鲁棒性强、稳定性与灵敏度高的基于碳纳米管阵列场发射的微机械陀螺仪。设有上基底和下基底，所述上基底和下基底二者通过硅-硅键合在一起并通过金属引线与外围驱动及检测电路相连；所述上基底上制作有基座、驱动弹性梁、检测弹性梁、质量块和驱动梳齿，所述上基底作为阳极；所述下基底上生长垂直定向的碳纳米管均匀阵列，所述垂直定向的碳纳米管均匀阵列作为阴极。

公开(公告)号：CN202572123U

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201220224588.5

申请日：2012-05-18

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  席凯伦 ,  杨争雄 ,  左文佳 ,  孙道恒

IPC: B24B37/27

Abstract: 一种用于研磨抛光的晶圆粘片机，涉及一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备。提供一种可在同一工作台上进行晶圆加热、粘装、测量、调节，可实现粘片过程一体化，在简化操作的同时，可保证粘片精度的用于研磨抛光的晶圆粘片机。设有气缸、3个调节螺杆、压盘轴、3个数显千分表、压盘、晶圆、气缸活塞杆、基板、施力盘、压盘盖、载样盘、圆形加热平台和钢球。