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公开(公告)号：CN119715440A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411748388.3
申请日：2024-12-02
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N21/3504
Abstract: 本发明公开一种超薄金微纳米结构的中红外分子传感器的制备方法，包括以下步骤：S1，将光刻胶旋涂在衬底上；S2，于光刻胶表面蒸镀金属膜；S3，对金属膜进行曝光，形成预设的结构图案，所述结构图案为单体型纳米棒阵列天线结构或二聚体型纳米棒阵列天线结构；S4，使用腐蚀液去除金属膜后，对结构图案执行低温显影和定影处理；S5，于结构图案上蒸镀厚度小于10nm的超薄金膜，随后剥离光刻胶及其上覆盖的金属层，从而得到所述超薄金微纳米结构的中红外分子传感器。该传感器可实现中红外宽波段响应的分子传感检测，检测灵敏度最高可达单层分子。
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