公开(公告)号：CN101590728B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200910112035.3

申请日：2009-06-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  王凌云 ,  庄根煌 ,  徐磊

IPC: B41J2/14

Abstract: 控制栅极自对准微喷头，涉及一种喷头。提供一种控制栅极自对准微喷头。设有上层硅片和下层硅片，在上层硅片上表面设有上层电极，在上层硅片上设有进液孔，在进液孔下方设有针尖，在上层硅片内设有环状定位孔，在下层硅片上表面设有绝缘层，在下层硅片上表面设有与设于上层硅片内的环状定位孔相套接的定位环，在下层硅片底部设有控制栅极，在下层硅片中部设有喷头出口。

公开(公告)号：CN101590728A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910112035.3

申请日：2009-06-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 孙道恒 ,  王凌云 ,  庄根煌 ,  徐磊

IPC: B41J2/14

Abstract: 控制栅极自对准微喷头，涉及一种喷头。提供一种控制栅极自对准微喷头。设有上层硅片和下层硅片，在上层硅片上表面设有上层电极，在上层硅片上设有进液孔，在进液孔下方设有针尖，在上层硅片内设有环状定位孔，在下层硅片上表面设有绝缘层，在下层硅片上表面设有与设于上层硅片内的环状定位孔相套接的定位环，在下层硅片底部设有控制栅极，在下层硅片中部设有喷头出口。