公开(公告)号：CN104216035B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201410505556.6

申请日：2014-09-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吕苗 ,  邓盛锋 ,  吕金科 ,  冯兴兴

IPC: G02B3/00 ,  G02B1/04

Abstract: 本发明公开了一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法，采用激光光刻工艺在基板上制作单或多层柱状光刻胶阵列,通过改变曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布，通过升温、降温过程使柱状光刻胶阵列回流成微透镜；在所述光刻胶微透镜阵列上旋转涂一种聚合物并使其固化形成柔性模具、将所述柔性模具通过气压的作用弯曲成曲面、在所述曲面柔性模具中滴加光学树脂，剥离后形成变焦距复眼微透镜、将此微透镜安装在成像光纤顶端。本发明的曲面微透镜能够批量生产，成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控。

公开(公告)号：CN105222895A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201510660961.X

申请日：2015-10-14

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吕苗 ,  吕金科 ,  邓盛锋 ,  冯兴兴 ,  田中群

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明涉及一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片，包括基板、阵列波导光栅、微反射镜阵列、光电探测器阵列。所述光电探测器阵列、阵列波导光栅和微反射镜阵列都通过微细加工技术依次制作在基板上。输入光信号进入阵列波导光栅，并从阵列波导光栅的输出波导中输出，经与阵列波导光栅一一对应的微反射镜阵列传导到光电探测器阵列上转化为电信号。由于阵列波导光栅具有分光功能，本发明输出的电信号可表征输入光信号的光谱信息，从而实现光谱仪的功能。和传统的光谱仪相比，本发明单片集成了原有的光栅、透镜和CCD的功能，体积、重量小，可用微电子制造技术批量生产，成本低。

公开(公告)号：CN104216035A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410505556.6

申请日：2014-09-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吕苗 ,  邓盛锋 ,  吕金科 ,  冯兴兴

IPC: G02B3/00 ,  G02B1/04 ,  G02B1/10

Abstract: 本发明公开了一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法，采用激光光刻工艺在基板上制作单或多层柱状光刻胶阵列,通过改变曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布，通过升温、降温过程使柱状光刻胶阵列回流成微透镜；在所述光刻胶微透镜阵列上旋转涂一种聚合物并使其固化形成柔性模具、将所述柔性模具通过气压的作用弯曲成曲面、在所述曲面柔性模具中滴加光学树脂，剥离后形成变焦距复眼微透镜、将此微透镜安装在成像光纤顶端。本发明的曲面微透镜能够批量生产，成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控。