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公开(公告)号：CN1322935C
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200510013358.9
申请日：2005-04-26
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及一种制备大面积纳米透明导电膜的专用喷嘴，用于光电子薄膜材料镀膜领域。这种专用喷头，雾化气从它的进气口进入进气管，分成三路进入喷嘴，再从喷口喷出，均匀地喷涂在20×20cm2大面积玻璃衬底上。该喷嘴为单狭缝式，喷雾量与喷口的长度成正比，而喷口的长度决定玻璃衬底的尺寸。本发明喷嘴高度150mm，宽度200mm，厚度5mm，喷口狭缝尺寸为20×1.5mm2。喷嘴也可根据衬底宽度的实际尺寸而改变。喷嘴容积和喷口面积的比例将决定喷口的压力，比值越大压力越高，同时喷口的压力也和载气流量、载气压力及雾化量有关。采用本发明喷嘴制备的大面积透明导电薄膜，其性能指标均达到和超过传统常规方法制备的要求，更适合工业化大规模生产。
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公开(公告)号：CN1692987A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510013358.9
申请日：2005-04-26
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及一种制备大面积纳米透明导电膜的专用喷嘴，用于光电子薄膜材料镀膜领域。这种专用喷头，雾化气从它的进气口进入进气管，分成三路进入喷嘴，再从喷口喷出，均匀地喷涂在20×20cm2大面积玻璃衬底上。该喷嘴为单狭缝式，喷雾量与喷口的长度成正比，而喷口的长度决定玻璃衬底的尺寸。本发明喷嘴高度150mm，宽度200mm，厚度5mm，喷口狭缝尺寸为20×1.5mm2。喷嘴也可根据衬底宽度的实际尺寸而改变。喷嘴容积和喷口面积的比例将决定喷口的压力，比值越大压力越高，同时喷口的压力也和载气流量、载气压力及雾化量有关。采用本发明喷嘴制备的大面积透明导电薄膜，其性能指标均达到和超过传统常规方法制备的要求，更适合工业化大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1670252A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510016278.9
申请日：2005-03-09
Applicant: 南开大学
IPC: C23C22/76
Abstract: 本发明涉及一种制备纳米氧化物透明导电膜的设备及方法，特别是涉及用SnO2∶F(掺氟二氧化锡)采用超声快速沉积法制备大面积纳米透明导电膜的方法及超声喷雾发生装置。本发明的技术方案：这种设备包括雾化箱、热反应室和管道；热反应室内底部有玻璃衬底。其特点在于：用超声喷雾方法将SnO2∶F溶液雾化后通过雾化喷嘴以纳米级的颗粒均匀地喷涂在20×20cm2大面积玻璃衬底上，制备成用于制造薄膜太阳电池的大面积纳米透明导电膜。本发明的有益效果是：该工艺设备简单、所制薄膜均匀性和重复性好，厚度和结构都十分均匀。同时耐酸碱腐蚀，可见光透过率高，附着力强。可以使用有机溶剂的种类很多，价格价廉，成本低。
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公开(公告)号：CN2789934Y
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200520025373.0
申请日：2005-03-09
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18
Abstract: 本实用新型涉及一种太阳电池纳米透明导电膜(TCO)的加热装置，特别是制备大面积太阳电池TCO膜的工艺技术加热装置。本实用新型由控制柜，温度控制单元，信号放大电路，电极组，加热管，匀热板等组成。加热面积大且能够保证匀热板中心和边沿的温度一致，并自动保持在所设定的温度上。采用了分部控制的智能控制方法，各点温度均匀，加热速度快，控制精度高。本实用新型的有益效果是：匀热板采用的铜质材料，发热均匀，热效率高。匀热板有一定的厚度，长时间使用不变形；采用了加热管作为加热源，发热效率高，使用寿命长，安装方便；采用了分部控制的智能控制方法，各点温度均匀，加热速度快。操作简单。
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公开(公告)号：CN2812303Y
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200520025374.5
申请日：2005-03-09
Applicant: 南开大学
Abstract: 本实用新型涉及一种制备纳米氧化物透明导电膜的设备，特别是涉及用SnO2:F(掺氟二氧化锡)采用超声快速沉积法制备大面积纳米透明导电膜的装置。本实用新型的技术方案：这种设备包括雾化箱、热反应室和管道；热反应室内底部有玻璃衬底。其特点在于：用超声喷雾方法将SnO2:F溶液雾化后通过雾化喷嘴以纳米级的颗粒均匀地喷涂在20×20cm2大面积玻璃衬底上，制备成用于制造薄膜太阳电池的大面积纳米透明导电膜。本实用新型的有益效果是：该工艺设备简单、所制薄膜均匀性和重复性好，厚度和结构都十分均匀。同时耐酸碱腐蚀，可见光透过率高，附着力强。可以使用有机溶剂的种类很多，价格价廉，成本低。
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公开(公告)号：CN200974049Y
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200620028079.X
申请日：2006-11-11
Applicant: 南开大学
IPC: B05B7/04 , B05B17/06 , H01L31/0216
Abstract: 本实用新型公开了一种超声喷雾法制备透明导电膜的专用喷头。这种专用喷头，雾化气从它的进气口进入进气管，分成二路横向相对进入喷头腔内混合，再从喷口喷出。此结构增加了雾化气在喷头腔混合的强度、延长了雾化气在喷头腔滞留混合的时间，保证了喷头腔内各点进气均匀混合和整个喷口压力均匀。该喷口为单狭缝式，喷雾量与喷口的长度成正比。采用本实用新型喷头制备的大面积透明导电薄膜，其性能指标均达到和超过传统常规方法制备的要求，更适合工业化大规模生产。
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