公开(公告)号：CN103361601B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201310307061.8

申请日：2013-07-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 齐继伟 ,  孙骞 ,  吴强 ,  李玉栋 ,  杨明 ,  王午登 ,  禹宣伊 ,  唐柏权 ,  许京军

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种制作超高性能SERS基底的方法。首先，选取蝉翼、蝴蝶翅膀、金刚鹦鹉羽毛等生物微结构作为基板，对生物微结构基板进行简单的清洗、晾干和整形处理。然后，通过磁控溅射或者离子束溅射等精确镀膜方法在生物微结构基板上镀金、银等贵金属膜制作出SERS基底。通过控制镀膜厚度达到精确控制微纳结构间隙尺寸的目的，微纳间隙尺寸可控制到小于10nm。制作出的SERS基底具有大面积、低成本、均匀、环保、超灵敏且间隙精确可控等突出优点。本发明选取环保材料作为基板，用一种非常简单、成熟且低成本的方法制作出了符合实际应用需要和理论研究需要的高性能SERS基底，为SERS效应的理论研究和实际应用提供了强大工具和坚实基础。

公开(公告)号：CN103361601A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310307061.8

申请日：2013-07-22

Applicant: 南开大学

Inventor： 齐继伟 ,  孙骞 ,  吴强 ,  李玉栋 ,  杨明 ,  王午登 ,  禹宣伊 ,  唐柏权 ,  许京军

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种制作超高性能SERS基底的方法。首先，选取蝉翼、蝴蝶翅膀、金刚鹦鹉羽毛等生物微结构作为基板，对生物微结构基板进行简单的清洗、晾干和整形处理。然后，通过磁控溅射或者离子束溅射等精确镀膜方法在生物微结构基板上镀金、银等贵金属膜制作出SERS基底。通过控制镀膜厚度达到精确控制微纳结构间隙尺寸的目的，微纳间隙尺寸可控制到小于10nm。制作出的SERS基底具有大面积、低成本、均匀、环保、超灵敏且间隙精确可控等突出优点。本发明选取环保材料作为基板，用一种非常简单、成熟且低成本的方法制作出了符合实际应用需要和理论研究需要的高性能SERS基底，为SERS效应的理论研究和实际应用提供了强大工具和坚实基础。