公开(公告)号：CN114373671A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202111446316.X

申请日：2021-11-30

Applicant: 南京林业大学

Inventor： 李少哲 ,  陈庆禧 ,  戴亦阳 ,  胡嘉忆 ,  宋凯 ,  刘新

IPC: H01J65/00 ,  H01J61/30

Abstract: 本发明提供一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，涉及紫外光技术，包括：脉冲电源、连接器、电极垫、高压电极、第一石英介质层、微腔、气体填充室、第二石英介质层、低压电极、中空石英框、进气口、改性小球、镂空支撑柱，准分子灯在内部气体被电离时，可以产生波长范围很窄的紫外光谱，并且波长选择性好，紫外光辐照面积大，克服了汞灯在紫外应用中的缺点，能有效应用于废水废气处理、刻蚀、材料表面改性、薄膜沉积等领域。

公开(公告)号：CN114373671B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202111446316.X

申请日：2021-11-30

Applicant: 南京林业大学

Inventor： 李少哲 ,  陈庆禧 ,  戴亦阳 ,  胡嘉忆 ,  宋凯 ,  刘新

IPC: H01J65/00 ,  H01J61/30

Abstract: 本发明提供一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，涉及紫外光技术，包括：脉冲电源、连接器、电极垫、高压电极、第一石英介质层、微腔、气体填充室、第二石英介质层、低压电极、中空石英框、进气口、改性小球、镂空支撑柱，准分子灯在内部气体被电离时，可以产生波长范围很窄的紫外光谱，并且波长选择性好，紫外光辐照面积大，克服了汞灯在紫外应用中的缺点，能有效应用于废水废气处理、刻蚀、材料表面改性、薄膜沉积等领域。