公开(公告)号：CN208162800U

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201820689261.2

申请日：2018-05-09

Applicant: 南京工程学院

Inventor： 李漫漫 ,  葛红宇 ,  顾佳钰 ,  陈康 ,  俞耀 ,  杜拥璐 ,  张建华

IPC: B23H3/00 ,  B23H3/02 ,  B23H11/00

Abstract: 一种纳秒脉冲电化学微细加工装置，包括加工平台基座、电解液槽、工件夹持机构、电极夹持机构、电源、控制电路和工件/电极相对位置调整机构；所述工件夹持机构在电解液槽内，电极夹持机构在工件夹持机构的上方。所述工件/电极相对位置调整机构包括大位移的宏运动机构和微量位移的微运动机构；宏运动机构包括X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构；微运动机构的运动方向为Z’向；微运动机构包括压电致动器；压电致动器的主体竖直固定于Z向运动机构；电极夹持机构连接在压电致动器上；X向运动机构固定在加工平台基座上；Y向运动机构固定在X向运动机构上，随之作X向运动；电解液槽固定在Y向运动机构上，随之作Y向运动；Z向运动机构固定在加工平台基座上。