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公开(公告)号：CN117939999A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410108528.4
申请日：2024-01-25
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开一种基于石墨烯交叉纳米条带的柔性霍尔传感器件，制备方法包括在淀积二氧化硅的柔性衬底上诱导生长直径均匀的硅纳米线；将一个柔性衬底样品上的硅纳米线转移到另一个带有硅纳米线的柔性衬底样品上，并保持两个柔性衬底样品上的纳米线相互交叉垂直；将生长于铜网上带有光刻胶的石墨烯清洗后转移至淀积有钝化层的柔性衬底上；将制备的具有交叉硅纳米线的薄膜覆盖到覆盖有石墨烯的柔性衬底上，定义需要刻蚀的长方形区域，得到需要制备交叉垂直石墨烯纳米条带的区域；以垂直交叉纳米线为模板，刻蚀掉未被垂直交叉纳米线掩盖区域的石墨烯，被掩盖区域得到垂直交叉石墨烯纳米条带。
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