公开(公告)号：CN108389937A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810106419.3

申请日：2018-02-02

Applicant: 南京大学

Inventor： 余林蔚 ,  孙肖林

IPC: H01L31/20 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/075 ,  H01L31/056

CPC classification number: Y02E10/52 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/202 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/056 ,  H01L31/075

Abstract: 本发明公开了一种柔性的、自掺杂、高功率质量比的太阳能电池制备方法，对未来的手提设备及可穿戴应用具有很重要的意义。该电池采用一种成本低廉的铝箔衬底且制备工艺成熟的非晶硅(a-Si:H)，就可以获得较高性能的三维纳米结构径向结太阳能电池，且机械弯曲性能很好，经过多次弯曲仍然能够保持稳定的电池性能。该技术将柔性衬底与三维纳米结构相结合，将铝箔衬底与非人为性的铝扩散形成P型掺杂相结合，利用PECVD薄膜淀积技术在低熔点金属(Sn或In等)诱导生长的竖直硅纳米线上包裹非晶硅形成p-i-n结构，并用氧化铟锡(ITO)作为透明电极，实现完整的、柔性的及较高性能的太阳能电池。