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公开(公告)号:CN113406360B
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN202110737437.3
申请日:2021-06-30
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜,包括壳体,还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头;步进马达安装于壳体内壁,绝缘管周向设置于步进马达内壁上;绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件,绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合;扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端,测试端包括用于扫描样品的探针;步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果,且具有抗干扰、高度对称性特点,能够减少温度变化引起的热漂移,提高扫描成像的质量。
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公开(公告)号:CN114910668B
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202210434915.8
申请日:2022-04-24
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法,该方法依然保留传统的逐行扫描方式,通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲,从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式,控制信号更加简单,扫描方式更加多样,后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式,其优点为:不需要显微镜标定,不需要更换样品,只需要一次性扫描完成,后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境,显微镜漂移速度也不同,本发明也只需要一次性扫描成像即可。
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公开(公告)号:CN114594282B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202210078911.0
申请日:2022-01-24
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头,显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片,所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接,X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成,结构完全一致,其中一个仅负责X方向形变,Y方向通过粘接薄片使其无法形变;另一个则只负责Y方向形变,X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离,也解决了非正交问题,因此会大大降低扫描畸变。
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公开(公告)号:CN114594282A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202210078911.0
申请日:2022-01-24
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头,显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片,所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接,X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成,结构完全一致,其中一个仅负责X方向形变,Y方向通过粘接薄片使其无法形变;另一个则只负责Y方向形变,X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离,也解决了非正交问题,因此会大大降低扫描畸变。
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公开(公告)号:CN112540194A
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN202011399079.1
申请日:2020-12-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01Q60/02
Abstract: 本发明公开了一种模块化快拆组合式扫描探针显微镜,包括马达模块、扫描头模块和样品模块,各模块均设有结构统一的导轨,并通过导轨实现三部分模块快速连接和拆卸。本发明设计为三段模块化结构,形成可以共用马达、快速更换扫描头和样品的模块化显微镜,原来需要购买多款显微镜才能实现的观测效果,可以通过更换扫描头和样品快速实现。这样既可以大大扩展原来单个显微镜的应用领域,实现扫描探针显微镜家族的模块化组合,也可以显著降低显微镜的成本,还可以节约不同显微镜来回切换所消耗的准备时间。
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公开(公告)号:CN114545030A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202210080319.4
申请日:2022-01-24
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01Q10/04
Abstract: 本发明公开了一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构,包括压电扫描管和镜体框架,所述压电扫描管设置在镜体框架内,所述压电扫描管上部分为自由端且通过固定环安装于镜体框架,下部分为自由端且其内壁上通过绝缘环连接滑杆,绝缘环的内环壁安装有弹簧片,弹簧片弹性抵接滑杆;本发明还提出了一种应用上述结构的基于Qplus技术的单扫描管的原子力显微镜,探针安装在石英音叉上,石英音叉、压电陶瓷、激励振荡器依次设置。本发明结构可靠性高,仅需要一根完整的四象限压电扫描管就可以完成步进和扫描,只在马达步进方向依赖惯性,而扫描方向可以连续进行,压电管不需要经过切割,保持了原有的完整性和刚性,所以能够更稳健,更精确地步进和扫描。
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公开(公告)号:CN113406360A
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202110737437.3
申请日:2021-06-30
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜,包括壳体,还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头;步进马达安装于壳体内壁,绝缘管周向设置于步进马达内壁上;绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件,绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合;扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端,测试端包括用于扫描样品的探针;步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果,且具有抗干扰、高度对称性特点,能够减少温度变化引起的热漂移,提高扫描成像的质量。
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公开(公告)号:CN114910668A
公开(公告)日:2022-08-16
申请号:CN202210434915.8
申请日:2022-04-24
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法,该方法依然保留传统的逐行扫描方式,通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲,从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式,控制信号更加简单,扫描方式更加多样,后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式,其优点为:不需要显微镜标定,不需要更换样品,只需要一次性扫描完成,后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境,显微镜漂移速度也不同,本发明也只需要一次性扫描成像即可。
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公开(公告)号:CN217521191U
公开(公告)日:2022-09-30
申请号:CN202221041733.6
申请日:2022-04-28
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型涉及一种扫描探针显微镜扫描样品成像装置,包括试样放置座以及通过探针卡座与显微镜进行连接的扫描探针本体,所述试样放置座的顶部固定安装有试样卡座,所述试样卡座的顶部设置有紧固组件,所述试样卡座的顶部通过紧固组件可拆卸安装有样品,所述紧固组件包括卡槽,所述卡槽的内部螺纹连接有螺旋固定体,所述螺旋固定体的顶部固定连接有卡头底盖。该扫描探针显微镜扫描样品成像装置,通过卡头对样品进行支撑,从而样品对卡头上盖以及卡头造成的作用力会传递给蜂窝型填充块,此时蜂窝型填充块具有良好的分散应力的效果,便可减少局部内应力,从而减少局部应力效果,进而达到了降低磨损的效果。
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