公开(公告)号：CN118465639A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410534654.6

申请日：2024-04-29

Applicant: 华南农业大学

Inventor： 梁亨茂 ,  陆文凯 ,  蔡坪洋

IPC: G01R33/02 ,  B81B7/02 ,  G01R33/028 ,  G01R33/00 ,  G01R33/06

Abstract: 本发明公开一种阵列式微机械结构、微机械磁传感器及信号差分处理方法，该阵列式微机械结构通过单一谐振单元的串并联阵列化拓扑组合而成；在该阵列式谐振结构上设置线圈等要素，构成阵列式磁传感器结构；线圈可以用于洛伦兹力式磁感原理的驱动线圈或用于电磁感应式磁感原理的感测线圈；根据阵列式谐振结构模态的同相或反相组合，将阵列式结构的各局部谐振单元上的线圈两端电极进行共地的并联处理实现差分输出；对于洛伦兹力原理的情况可将阵列式结构中同相位变化的敏感电容极板连为一体，构成最终的两个反相变化敏感电容端口形成差分输出，不仅通过磁感单元阵列化提高磁传感器的输出信号幅度，而且通过信号差分处理提高传感信号质量及稳定性。

公开(公告)号：CN118444220A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410534400.4

申请日：2024-04-29

Applicant: 华南农业大学

Inventor： 梁亨茂 ,  蔡坪洋 ,  陆文凯

IPC: G01R33/02 ,  G01R33/028 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明公开一种阵列式内共振微机械结构及其微型磁传感器，通过内共振系统经阵列拓扑组成；在串并联拓扑关系上，一对扭转结构通过耦合梁相接，形成阵列系统中的最小系统，再根据最小系统的数量，利用耦合梁相接，形成内共振多阵列系统；多阵列通过耦合梁进行连接具有不同的串并联方式；在高低频结构的位置关系上，一对具有整数倍频比的扭转或平动结构通过内共振的原理实现谐振，其中一个为高频扭转或平动结构，另一个为低频扭转或平动结构。而对于内共振多阵列系统中高频或低频的扭转或平动结构则具备多种不同的位置组成关系。通过将各个内共振阵列系统的敏感信号相叠加作为信号输出，有利于降低谐振结构的等效电阻并提高磁传感器灵敏度等。