公开(公告)号：CN109690301A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780054609.9

申请日：2017-09-08

Applicant: 北陆电气工业株式会社 ,  国立大学法人信州大学

Inventor： 伊东荣次 ,  山口善纪 ,  西田达也 ,  松原幸辅

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/226 ,  G01N27/22 ,  G01N27/223 ,  G01N2027/222

Abstract: 本发明提供在纳米碳材料缠结为三维网眼状的结构的第二电极层与气体感应膜之间不发生剥离的容量型气体传感器。具备：在基板(3)上形成的第一电极层(5)、在第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜(11)、和与第一电极层(5)对向地在气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的第二电极层(13)。至少在第二电极层上设置了具有通气性的补强用树脂层(15)。

公开(公告)号：CN109690301B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN201780054609.9

申请日：2017-09-08

Applicant: 北陆电气工业株式会社 ,  国立大学法人信州大学

Inventor： 伊东荣次 ,  山口善纪 ,  西田达也 ,  松原幸辅

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明提供在纳米碳材料缠结为三维网眼状的结构的第二电极层与气体感应膜之间不发生剥离的容量型气体传感器。具备：在基板(3)上形成的第一电极层(5)、在第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜(11)、和与第一电极层(5)对向地在气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的第二电极层(13)。至少在第二电极层上设置了具有通气性的补强用树脂层(15)。