公开(公告)号：CN118016748A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410030541.2

申请日：2024-01-09

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 刘凯 ,  王俊杰 ,  董晓雯 ,  黄永清 ,  段晓峰 ,  王琦 ,  任晓敏 ,  蔡世伟

IPC: H01L31/102 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/0232

Abstract: 本发明提供一种单行载流子光探测器，包括：依次设置于半导体材料衬底上方的第一电极接触层、电子收集层和崖层、设置于崖层上方的吸收层、设置于吸收层上方的电子扩散阻挡层、设置于电子扩散阻挡层上方的第二电极接触层、设置于第二电极接触层上方的光学散射结构和设置于光学散射结构上方的光学薄膜层；光学薄膜层构成波导结构的上包层，电子收集层构成波导结构的下包层，光学散射结构用于使得入射光从垂直入射方向进行散射，并将部分散射光耦合进单行载流子光探测器构成的波导结构中进行横向传播，以增加了入射光在吸收层的传播距离。本发明提供的单行载流子光探测器，能够有效提高单行载流子光探测器的响应度。