一种基于拓扑优化的光子器件自适应逆向设计方法

    公开(公告)号:CN115292877A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210716209.2

    申请日:2022-06-22

    Abstract: 本发明提出了一种基于拓扑优化的光子器件自适应逆向设计方法,在设计过程中,采用兼具差异化处理特性和动态调整特性的自适应投影函数。本发明在提升了光子器件设计效率的基础上,保证逆向设计得到的光子器件具有优秀的性能指标,此外设计得到的光子器件已完全二值化,省掉了额外的离散优化,不仅解决了离散优化导致光子器件品质因数劣化问题,而且还简化了设计流程。进一步地,本发明逆向设计得到的光子器件物理尺寸小、易于规模化集成、可利用常规半导体光刻工艺进行制备,有望推动光子集成芯片尤其是硅基光子集成芯片的发展。

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