公开(公告)号：CN107806565B

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201710829195.4

申请日：2017-09-14

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙文利 ,  胡建忠 ,  黄炎 ,  张佐 ,  刘振龙 ,  李刚

IPC: F17C5/06 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04

Abstract: 本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵；工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座；温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内；抽放气口向外引出抽放气总管路，所述抽放气总管路连通分子泵和充气装置；抽放气总管路上还设置有薄膜规和电离规；抽气口向外引出洁净度测量管路；所述洁净度测量管路还连接洁净仪；温控器通过密封插座与温控工装的温度控制线路连接。本发明实现了保证在精密仪表密封腔内充入气体的纯度、洁净度、温度和压强，从而提高产品生产质量、效率和使用寿命的目的。

公开(公告)号：CN107806565A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201710829195.4

申请日：2017-09-14

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 孙文利 ,  胡建忠 ,  黄炎 ,  张佐 ,  刘振龙 ,  李刚

IPC: F17C5/06 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04

Abstract: 本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵；工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座；温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内；抽放气口向外引出抽放气总管路，所述抽放气总管路连通分子泵和充气装置；抽放气总管路上还设置有薄膜规和电离规；抽气口向外引出洁净度测量管路；所述洁净度测量管路还连接洁净仪；温控器通过密封插座与温控工装的温度控制线路连接。本发明实现了保证在精密仪表密封腔内充入气体的纯度、洁净度、温度和压强，从而提高产品生产质量、效率和使用寿命的目的。