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公开(公告)号：CN115326270A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210899511.6
申请日：2022-07-28
Applicant: 北京航天动力研究所
Abstract: 本发明设计一种毛细管带水冷结构的耐高温压力传感器，包括引压头、受压膜片、封堵、膜片端盖、毛细管、芯体端盖、底座、敏感元件、转换电路、壳体、出线端、输出导线、水冷外壳壳体，通过对扩散硅压力芯体进行压力传感器设计，在敏感元件与引压腔之间设计毛细管，规避敏感元件与高温燃气的直接接触，同时通过安装水冷外壳，使水冷外壳与压力传感器主体之间形成空腔，为冷却介质的流动提供导流通道，达到了对压力传感器主体的物理降温效果，保证了压力传感器在高温燃气下物理特性的稳定性，满足了扩散硅压力敏感元件对工作环境的温度要求，提高了压力传感器对高温燃气压力测量数据的准确性和有效性。
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公开(公告)号：CN115326270B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210899511.6
申请日：2022-07-28
Applicant: 北京航天动力研究所
Abstract: 本发明设计一种毛细管带水冷结构的耐高温压力传感器，包括引压头、受压膜片、封堵、膜片端盖、毛细管、芯体端盖、底座、敏感元件、转换电路、壳体、出线端、输出导线、水冷外壳壳体，通过对扩散硅压力芯体进行压力传感器设计，在敏感元件与引压腔之间设计毛细管，规避敏感元件与高温燃气的直接接触，同时通过安装水冷外壳，使水冷外壳与压力传感器主体之间形成空腔，为冷却介质的流动提供导流通道，达到了对压力传感器主体的物理降温效果，保证了压力传感器在高温燃气下物理特性的稳定性，满足了扩散硅压力敏感元件对工作环境的温度要求，提高了压力传感器对高温燃气压力测量数据的准确性和有效性。
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