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公开(公告)号：CN101463464B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200910077117.9
申请日：2009-01-16
Applicant: 北京交通大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 倾斜式生长形貌可控的纳米发光柱状薄膜的方法及装置，该装置包括：蒸发源(6)、衬底支架(2)、红外灯(9)及真空腔(7)；衬底支架(2)垂直于电机轴固定于电机轴端上；真空电机支架(3)固定于真空腔(7)的顶上，真空电机(1)与真空电机支架(3)连接，按蒸发粒子流(5)与衬底(4)法线夹角0～90度，通过锁栓(8)固定真空电机支架(3)上。纳米发光柱状薄膜的方法，启动真空电机(1)，使衬底支架旋转速度每分钟1～3转；给红外灯通电，给衬底加热到100～200摄氏度；发光材料的蒸发速率在0.1～0.2nm/s，制备的纳米发光柱状薄膜的厚度为100～300nm。用于光电子器件中作为功能层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101859878B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010184678.1
申请日：2010-05-20
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 一种提高光输出耦合效率有机电致发光器件及其制备方法，它是在其器件的ITO玻璃衬底的玻璃面上制备一层厚度50nm～90nm的ZnS棒状纳米薄膜。其制备步骤：将有机电致发光器件的ITO玻璃衬底的玻璃面向下固定在衬底支架上；使衬底支架的法线方向与蒸发粒子流入射方向的夹角为85度，通过锁栓将电机支架与真空电机固定；将纯度99～99.9％的ZnS置于蒸发源中；对真空腔抽真空度2～8×10-6帕；加热ITO玻璃衬底到210～300℃；通过真空电机使ITO玻璃衬底的旋转速度为1～3转/分；给蒸发源加热，使蒸发速率为0.1～0.2纳米/秒。本发明提高了有机电致发光器件的光输出耦合效率。
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公开(公告)号：CN101859878A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010184678.1
申请日：2010-05-20
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 一种提高光输出耦合效率的有机电致发光器件及其制备方法，它是在其器件的ITO玻璃衬底的玻璃面上制备一层厚度50nm～90nm的ZnS棒状纳米薄膜。其制备步骤：将有机电致发光器件的ITO玻璃衬底的玻璃面向下固定在衬底支架上；使衬底支架的法线方向与蒸发粒子流入射方向的夹角为85度，通过锁栓将电机支架与真空电机固定；将纯度99～99.9％的ZnS置于蒸发源中；对真空腔抽真空度2～8×10-6帕；加热ITO玻璃衬底到210～300℃；通过真空电机使ITO玻璃衬底的旋转速度为1～3转/分；给蒸发源加热，使蒸发速率为0.1～0.2纳米/秒。本发明提高了有机电致发光器件的光输出耦合效率。
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公开(公告)号：CN101463463A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910076567.6
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明公开了一种高真空场调制有机小分子定向纳米薄膜的制备方法及系统，该纳米薄膜适用于所有有机半导体器件中。该方法的步骤：给装有有机小分子材料的蒸发舟(3)通直流电，控制有机小份子材料的蒸发速率0.1nm/s～0.3nm/s；向真空腔中入射一束光强100～1000坎德拉白光，经放在玻璃视窗(7)前的偏振片(6)获得一束光矢量方向平行蒸发粒子流的线偏振光，用此偏振光调制单个有机小分子取向；形成定向排布的有机小分子纳米薄膜。该系统是在高真空蒸发腔(1)一侧的中部开一个与腔体密封的直径为10Cm的玻璃视窗，紧挨着玻璃视窗固定一个方向能调节的偏振片，在偏振片前放置一个光强能调节的白光光源(5)。
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公开(公告)号：CN101463463B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200910076567.6
申请日：2009-01-09
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明公开了一种高真空场调制有机小分子定向纳米薄膜的制备方法及系统，该纳米薄膜适用于所有有机半导体器件中。该方法的步骤：给装有有机小分子材料的蒸发舟(3)通直流电，控制有机小份子材料的蒸发速率0.1nm/s～0.3nm/s；向真空腔中入射一束光强100～1000坎德拉白光，经放在玻璃视窗(7)前的偏振片(6)获得一束光矢量方向平行蒸发粒子流的线偏振光，用此偏振光调制单个有机小分子取向；形成定向排布的有机小分子纳米薄膜。该系统是在高真空蒸发腔(1)一侧的中部开一个与腔体密封的直径为10Cm的玻璃视窗，紧挨着玻璃视窗固定一个方向能调节的偏振片，在偏振片前放置一个光强能调节的白光光源(5)。
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公开(公告)号：CN101463464A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910077117.9
申请日：2009-01-16
Applicant: 北京交通大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 倾斜式生长形貌可控的纳米发光柱状薄膜的方法及装置，该装置包括：蒸发源(6)、衬底支架(2)、红外灯(9)及真空腔(7)；衬底支架(2)垂直于电机轴固定于电机轴端上；真空电机支架(3)固定于真空腔(7)的顶上，真空电机(1)与真空电机支架(3)连接，按蒸发粒子流(5)与衬底(4)法线夹角0～90度，通过锁栓(8)固定真空电机支架(3)上。纳米发光柱状薄膜的方法，启动真空电机(1)，使衬底支架旋转速度每分钟1～3转；给红外灯通电，给衬底加热到100～200度；发光材料的蒸发速率在0.1～0.2nm/s，制备的纳米发光柱状薄膜的厚度为100～300nm。用于光电子器件中作为功能层。
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