公开(公告)号：CN112255581A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN202011171873.0

申请日：2020-10-28

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 张宇 ,  袁亚飞 ,  刘民 ,  季启政 ,  梅高峰 ,  崔振刚 ,  周黎 ,  刘英乾

IPC: G01R35/00

Abstract: 本公开是关于一种静电感度仪放电波形的测试校准系统及方法。该静电感度仪放电波形的测试校准系统，包括探测电极，用于接收静电感度仪的静电放电电流信号；屏蔽支架，探测电极固定在屏蔽支架的顶端，其中：屏蔽支架内部设置有信号传输线，信号传输线的第一端与电极电连接，信号传输线的第二端透过屏蔽支架与信号处理单元电连接；信号处理单元，设置在屏蔽支架外围，用于记录静电放电电流信号的波形，并记录的信号波形与标准波形进行比对，得到比对结果；底座，与屏蔽支架的底端固定连接，从而获得静电感度仪放电的波形特性，进而得到静电感度仪放电能量的集中程度，为有效分析静电感度仪是否具有击发受测样品的能力，提供可靠的判断依据。