公开(公告)号：CN100482307C

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200480028560.2

申请日：2004-09-24

Applicant: 分子制模股份有限公司 ,  得克萨斯州大学系统董事会

Inventor： I·M·麦克麦基 ,  N·A·斯塔西 ,  D·A·巴布斯 ,  D·J·沃斯 ,  M·P·C·瓦茨 ,  V·N·柴斯盖特 ,  F·Y·徐 ,  R·D·弗伊欣 ,  P·B·拉德

IPC: B01D19/00 ,  C23F1/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

Abstract: 本发明涉及一种通过减少在一垫片上粘性流体层中的气泡来减少刻印层上图案变形的方法。为此，该方法包括改变靠近粘性流体的气体的传送状况。具体来说，在复制图案的垫片附近的环境中充满相对于所放置的粘性流体或者具有高度溶解性、或者具有高度分散性、或者两者兼有的气体。另外，或者作为上述使环境充满气体的替代方案，可减小环境的压力。

公开(公告)号：CN1859959A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200480028560.2

申请日：2004-09-24

Applicant: 分子制模股份有限公司 ,  得克萨斯州大学系统董事会

Inventor： I·M·麦克麦基 ,  N·A·斯塔西 ,  D·A·巴布斯 ,  D·J·沃斯 ,  M·P·C·瓦茨 ,  V·N·柴斯盖特 ,  F·Y·徐 ,  R·D·弗伊欣 ,  P·B·拉德

IPC: B01D19/00 ,  C23F1/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

Abstract: 本发明涉及一种通过减少在一垫片上粘性流体层中的气泡来减少刻印层上图案变形的方法。为此，该方法包括改变靠近粘性流体的气体的传送状况。具体来说，在复制图案的垫片附近的环境中充满相对于所放置的粘性流体或者具有高度溶解性、或者具有高度分散性、或者两者兼有的气体。另外，或者作为上述使环境充满气体的替代方案，可减小环境的压力。