公开(公告)号：CN105980970A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201580007343.3

申请日：2015-04-15

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 小林佑辅 ,  国分义幸

IPC: G06F3/044 ,  G06F3/041

Abstract: 本发明的静电容量式三维传感器(1)具备XY方向位置检测用电极体(60)以及配置成与XY方向位置检测用电极体(60)重合的Z方向位置检测用电极体(20)，具备设置在XY方向位置检测用电极体(60)中Z方向位置检测用电极体(20)侧的面的多个点间隔件(50)，以及将多个点间隔件50粘合于Z方向位置检测用电极体(20)的间隔件粘合层(40)，在XY方向位置检测用电极体(60)和间隔件粘合层(40)之间形成空隙的状态下，多个点间隔件(50)一部分埋设并粘合于间隔件粘合层(40)的内部。

公开(公告)号：CN105980970B

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201580007343.3

申请日：2015-04-15

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 小林佑辅 ,  国分义幸

IPC: G06F3/044 ,  G06F3/041

Abstract: 本发明的静电容量式三维传感器(1)具备XY方向位置检测用电极体(60)以及配置成与XY方向位置检测用电极体(60)重合的Z方向位置检测用电极体(20)，具备设置在XY方向位置检测用电极体(60)中Z方向位置检测用电极体(20)侧的面的多个点间隔件(50)，以及将多个点间隔件50粘合于Z方向位置检测用电极体(20)的间隔件粘合层(40)，在XY方向位置检测用电极体(60)和间隔件粘合层(40)之间形成空隙的状态下，多个点间隔件(50)一部分埋设并粘合于间隔件粘合层(40)的内部。