公开(公告)号：CN103240665B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201310088370.0

申请日：2013-02-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 长谷川良平 ,  松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: B24B37/04 ,  C09G1/02

CPC classification number: B24B1/00 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。

公开(公告)号：CN102314102A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110255499.7

申请日：2011-06-17

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  长谷川良平 ,  竹内正树

IPC: G03F1/38 ,  G03F7/42

CPC classification number: G03F7/168 ,  B32B38/10 ,  G03F1/14 ,  G03F1/60 ,  G03F7/422 ,  H01L21/00 ,  Y10T156/1116

Abstract: 通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。

公开(公告)号：CN102314102B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201110255499.7

申请日：2011-06-17

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 松井晴信 ,  长谷川良平 ,  竹内正树

IPC: G03F7/42 ,  G03F7/16

CPC classification number: G03F7/168 ,  B32B38/10 ,  G03F1/14 ,  G03F1/60 ,  G03F7/422 ,  H01L21/00 ,  Y10T156/1116

Abstract: 通过以下方法处理一种具有抗蚀剂膜涂覆于其上的合成石英玻璃基板：将该基板浸入含萜烯的溶剂中直到抗蚀剂膜剥离，并用水冲洗该基板。

公开(公告)号：CN103240665A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310088370.0

申请日：2013-02-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 长谷川良平 ,  松井晴信 ,  原田大实 ,  竹内正树

IPC: B24B37/04 ,  C09G1/02

CPC classification number: B24B1/00 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。