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公开(公告)号:CN102863149A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201210237220.7
申请日:2012-07-09
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/03 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/029 , C03B2205/82 , C03B2205/83 , C03B2205/92
Abstract: 本发明提供一种光纤的拉丝装置和拉丝方法,其即使使炉框体内的气体从炉管下端部形成的间隙向炉管内漏出,也不会使烟灰沿内径方向堆积。在将流入炉管(13)内并朝下流动的惰性气体的体积流量设为Q1,将从炉框体(14)内向炉管内漏出的惰性气体的体积流量设为Q2,将炉管下端的内径设为2D,将炉管(13)和延长管(17)之间的接合部的气体漏出口(19)的出口部分的间隙宽度设为H,将体积流量Q1和Q2各自相对于壁面的剪切力的比设为R时,将接合部的所述气体漏出口的出口部分的间隙宽度H设定为满足“R=(3D2Q2)/(4H2Q1)≤3”。
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公开(公告)号:CN104039724B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201380005190.X
申请日:2013-01-09
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/027 , G02B6/00
CPC classification number: C03B37/029 , C03B37/0253 , C03B37/027 , C03B37/02727 , C03B2205/30 , C03B2205/40 , C03B2205/56 , C03B2205/63 , C03B2205/70 , C03B2205/92 , G02B6/10 , G02B2006/12166 , Y02P40/57
Abstract: 提供一种光纤的制造方法和制造装置以及由此制造的光纤,该光纤的制造方法和制造装置通过使用低价的非活性气体等和低价的辅助装置,一边抑制玻璃光纤的直径变化,一边减少传送损耗的增加。具有:炉心管(13),在其中插入光纤用玻璃母材(11);以及加热单元(15),其配置在炉心管的外部,从外侧对炉心管进行加热,在使光纤用玻璃母材加热熔融的同时,进行光纤部而制造光纤。作为送入至炉心管内的气体,使用氩气或氮气的含量大于或等于50%的气体,在炉心管的下部设有长度为Da(mm)的保护管(17),该保护管构成为,其上部是长度为Db(mm)的由隔热材料(18)包围的隔热材料区域(17a),其下部为没有用隔热材料包围的非隔热材料区域(17b),使得保护管出口处的玻璃光纤的温度小于或等于1700℃,并且,使得保护管出口处的玻(12)的拉丝,并从炉心管下部的导出口导出至外
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公开(公告)号:CN102863149B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201210237220.7
申请日:2012-07-09
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/03 , C03B37/025
CPC classification number: C03B37/029 , C03B2205/82 , C03B2205/83 , C03B2205/92
Abstract: 本发明提供一种光纤的拉丝装置和拉丝方法,其即使使炉框体内的气体从炉管下端部形成的间隙向炉管内漏出,也不会使烟灰沿内径方向堆积。在将流入炉管(13)内并朝下流动的惰性气体的体积流量设为Q1,将从炉框体(14)内向炉管内漏出的惰性气体的体积流量设为Q2,将炉管下端的内径设为2D,将炉管(13)和延长管(17)之间的接合部的气体漏出口(19)的出口部分的间隙宽度设为H,将体积流量Q1和Q2各自相对于壁面的剪切力的比设为R时,将接合部的所述气体漏出口的出口部分的间隙宽度H设定为满足“R=(3D2Q2)/(4H2Q1)≤3”。
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公开(公告)号:CN104039724A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201380005190.X
申请日:2013-01-09
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/027 , G02B6/00
CPC classification number: C03B37/029 , C03B37/0253 , C03B37/027 , C03B37/02727 , C03B2205/30 , C03B2205/40 , C03B2205/56 , C03B2205/63 , C03B2205/70 , C03B2205/92 , G02B6/10 , G02B2006/12166 , Y02P40/57
Abstract: 提供一种光纤的制造方法和制造装置以及由此制造的光纤,该光纤的制造方法和制造装置通过使用低价的非活性气体等和低价的辅助装置,一边抑制玻璃光纤的直径变化,一边减少传送损耗的增加。具有:炉心管(13),在其中插入光纤用玻璃母材(11);以及加热单元(15),其配置在炉心管的外部,从外侧对炉心管进行加热,在使光纤用玻璃母材加热熔融的同时,进行光纤(12)的拉丝,并从炉心管下部的导出口导出至外部而制造光纤。作为送入至炉心管内的气体,使用氩气或氮气的含量大于或等于50%的气体,在炉心管的下部设有长度为Da(mm)的保护管(17),该保护管构成为,其上部是长度为Db(mm)的由隔热材料(18)包围的隔热材料区域(17a),其下部为没有用隔热材料包围的非隔热材料区域(17b),使得保护管出口处的玻璃光纤的温度小于或等于1700℃,并且,使得保护管出口处的玻璃光纤的外径落入等于或小于目标玻璃光纤外径+6μm的范围内。
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公开(公告)号:CN102668033A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201180005073.4
申请日:2011-02-25
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/455 , C23C16/458
CPC classification number: C23C16/4584 , C23C16/45504 , C23C16/4585 , C23C16/481 , H01L21/02378 , H01L21/02529 , H01L21/0262 , H01L21/02658 , H01L29/1608 , H01L29/872
Abstract: 基板(10-12)分别安装在多个基座(20-22)中的每个基座上。所述多个基座中的每个基座均安装有基板,且所述多个基座设置在旋转机构上,使得这些基座在上下方向上彼此间具有预定间隔。设置有所述多个基座的旋转机构被旋转。每个均安装有基板的多个基座被加热。通过向在旋转的同时受热的基座中的每个基座供应原料气体来沉积半导体薄膜,所述原料气体通过基本上彼此相等的相应路径长度的气体流路被加热。
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