-
公开(公告)号：CN106353333A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610554158.2
申请日：2016-07-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N21/89
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G01N2021/8411 , G01N21/8914
Abstract: 本发明提供膜检查装置、膜检查方法及膜制造方法，所述膜检查装置准确地检查膜的缺陷。膜检查装置(1)具备：受光装置(12)，其接收对膜用于检测膜(2)所含缺陷的信号；和反射辊(13)，其在受光装置(12)的视野(V)内，从与受光装置(12)相反侧支承膜(2)并同时对膜(2)进行运送。(2)进行照射并经由膜(2)而返回的光，由此生成
Search Results
1
records
(took 0.063 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
