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公开(公告)号:CN105474002B
公开(公告)日:2018-05-15
申请号:CN201480045693.4
申请日:2014-08-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N21/892 , G01N21/88 , G01N21/896 , G02B5/30 , G02F1/13 , G02F1/1335
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G02F1/1303 , G02F1/1309 , G02F1/133528
Abstract: 本发明的包含偏振器件的光学构件的缺陷检查装置包括:光源;拍摄装置,其拍摄由来自光学构件的透射光形成的像;第1偏振滤光片,其配置在光源与光学构件之间的光路上,具有第1吸收轴;第2偏振滤光片,其配置在拍摄装置与光学构件之间的光路上,具有第2吸收轴;第1移动装置,其使第1偏振滤光片朝光源与光学构件之间的光路进退移动;以及第2移动装置,其使第2偏振滤光片朝拍摄装置与光学构件之间的光路进退移动。
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公开(公告)号:CN108535272A
公开(公告)日:2018-09-14
申请号:CN201810166617.9
申请日:2018-02-28
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 桥口大辅
Abstract: 本发明提供能够减少由搬运过程中的膜中产生的颤动带来的影响从而适当地向膜记录缺陷信息的缺陷检查系统、膜制造装置、膜制造方法、印刷装置以及印刷方法。缺陷检查系统具备:搬运线,其搬运长条带状的膜;缺陷检查装置,其进行由搬运线搬运的膜的缺陷检查;以及记录装置(13),其将基于缺陷检查的结果的缺陷信息记录于由搬运线搬运的膜(F105),记录装置(13)具有通过向膜(F105)的沿着端缘部的记录区域排出墨水(i)从而印刷缺陷信息的印刷头(13a),印刷头(13a)与同膜(F105)接触的引导辊(153c)对置地配置。
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公开(公告)号:CN105474002A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201480045693.4
申请日:2014-08-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G01N21/892 , G01N21/88 , G01N21/896 , G02B5/30 , G02F1/13 , G02F1/1335
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/8901 , G02F1/1303 , G02F1/1309 , G02F1/133528
Abstract: 本发明的包含偏振器件的光学构件的缺陷检查装置包括:光源;拍摄装置,其拍摄由来自光学构件的透射光形成的像;第1偏振滤光片,其配置在光源与光学构件之间的光路上,具有第1吸收轴;第2偏振滤光片,其配置在拍摄装置与光学构件之间的光路上,具有第2吸收轴;第1移动装置,其使第1偏振滤光片朝光源与光学构件之间的光路进退移动;以及第2移动装置,其使第2偏振滤光片朝拍摄装置与光学构件之间的光路进退移动。
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