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公开(公告)号：CN113921419A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202110733073.1
申请日：2021-06-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/324
Abstract: 本发明提供一种能够以更短的时间对基板进行加热处理的光加热装置以及加热处理方法。一种光加热装置，用于对基板进行加热，具备：腔室，收容基板；一对透光窗，以相互对置的方式设置于腔室的壁面，向腔室内取入加热用的光；支承部件，在腔室内，以基板的各自的主面与一对透光窗的每一个对置的方式，在一对透光窗之间支承基板；多个LED元件，朝向被支承部件支承的基板射出光；闪光灯，朝向被支承部件支承的基板射出光；以及第一点亮控制部，在使LED元件点亮之后，在经过规定的时间后进行使闪光灯点亮的控制。
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