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公开(公告)号:CN104942662A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201510404473.2
申请日:2015-07-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置,包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具,工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上,工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触,所述抛光垫上通入抛光液;所述抛光夹具通过一竖直方向弹性设置的支撑平台置于抛光垫上,所述抛光夹具竖直端通过变幅杆与超声波换能器连接,所述超声波换能器与超声波发生器通过导线连接。本发明通过超声振动辅助光纤阵列端面的化学机械抛光,可提高抛光液的抛光磨削效率,降低抛光液的使用量,节省生产成本,并且减轻了对抛光液对环境的影响,同时还可有效提升抛光的效果,可在实际生产中广泛引用。
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公开(公告)号:CN204771861U
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201520498060.0
申请日:2015-07-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置,包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具,工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上,工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触,所述抛光垫上通入抛光液;所述抛光夹具通过一竖直方向弹性设置的支撑平台置于抛光垫上,所述抛光夹具竖直端通过变幅杆与超声波换能器连接,所述超声波换能器与超声波发生器通过导线连接。本实用新型通过超声振动辅助光纤阵列端面的化学机械抛光,可提高抛光液的抛光磨削效率,降低抛光液的使用量,节省生产成本,并且减轻了对抛光液对环境的影响,同时还可有效提升抛光的效果,可在实际生产中广泛引用。
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