公开(公告)号：CN108648992B

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201810385619.7

申请日：2018-04-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 徐春祥 ,  赵杰 ,  游道通 ,  石增良 ,  朱烨

IPC: H01L21/04 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明公开了一种氧化锌石墨烯场效应管的制备方法，在金属基底上用化学气相法制备石墨烯薄膜；然后以石墨烯薄膜为沟道制备场效应管；最后石墨烯基场效应管的沟道上固定放置氧化锌微米棒。氧化锌微米棒作为混合异质结的一维材料直接固定于石墨烯场效应管的沟道中，作为提供寿命长的空穴以及光电接收材料，不会伤害氧化锌和石墨烯的表面；从而利用氧化锌对紫外光比较敏感的优异特性将二维石墨烯的超高载流子迁移率与一维氧化锌微米棒的超长载流子寿命的优势结合，制得性能优良的氧化锌石墨烯场效应管。

公开(公告)号：CN108648992A

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201810385619.7

申请日：2018-04-26

Applicant: 东南大学

Inventor： 徐春祥 ,  赵杰 ,  游道通 ,  石增良 ,  朱烨

IPC: H01L21/04 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明公开了一种氧化锌石墨烯场效应管的制备方法，在金属基底上用化学气相法制备石墨烯薄膜；然后以石墨烯薄膜为沟道制备场效应管；最后石墨烯基场效应管的沟道上固定放置氧化锌微米棒。氧化锌微米棒作为混合异质结的一维材料直接固定于石墨烯场效应管的沟道中，作为提供寿命长的空穴以及光电接收材料，不会伤害氧化锌和石墨烯的表面；从而利用氧化锌对紫外光比较敏感的优异特性将二维石墨烯的超高载流子迁移率与一维氧化锌微米棒的超长载流子寿命的优势结合，制得性能优良的氧化锌石墨烯场效应管。