公开(公告)号：CN108511512A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810115022.0

申请日：2018-02-05

Applicant: 东南大学 ,  东南大学—无锡集成电路技术研究所

Inventor： 孙伟锋 ,  张小双 ,  童鑫 ,  吴其祥 ,  刘斯扬 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/739 ,  H01L21/331

Abstract: 一种带有波浪型场限环结构的功率半导体器件，包括：P型衬底(1)，在P型衬底(1)上方设有N型缓冲层(2)，N型缓冲层(2)上设有N型外延层(3)且N型外延层(3)被划分为元胞区、过渡区和终端区，在元胞区内设有栅极沟槽(4-1)、(4-2)，在过渡区设有栅极沟槽(4-3)、(4-4)、(4-5)，在栅极沟槽(4-1)、(4-2)之间设有P型体区(6)，P型体区(6)内设有重掺杂N型发射极(7)，其特征在于，终端区内设有波浪型、交叠状离子扩散区(10)，在波浪型离子扩散区(10)内设有离子注入区(10-1)、(10-2)、(10-3)。本发明器件结构能够抑制器件关断时刻所产生的电场尖峰，从而抑制动态雪崩。

公开(公告)号：CN107180865A

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201710530001.0

申请日：2017-06-30

Applicant: 东南大学

Inventor： 孙伟锋 ,  李胜 ,  徐志远 ,  杨卓 ,  张小双 ,  刘斯扬 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L29/739 ,  H01L21/331

Abstract: 一种低噪声低损耗绝缘栅双极型晶体管，包括：底部设有集电极金属电极的P型衬底，在P型衬底上方设有N型缓冲层，N型缓冲层上设有N型外延层，在N型外延层内设有一维阵列分布的P型体区，并在其中设有重掺杂N型发射区，在P型体区与N型外延层之间设有N型载流子存储层，所述晶体管还包括按一维阵列分布的侧壁覆盖有隔离氧化层的沟槽，各个沟槽横向贯穿各P型体区、重掺杂N型发射区及N型外延层，在沟槽内设有和金属层相连的二极管，在各沟槽下方分别设有重掺杂P阱；在位于相邻沟槽之间的N型外延层的上方分别设有栅氧化层，在栅氧化层上方覆盖有多晶硅栅极；将各个重掺杂N型发射区、P型体区和第二金属连接层连接，作为器件的发射极。

公开(公告)号：CN107180865B

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201710530001.0

申请日：2017-06-30

Applicant: 东南大学

Inventor： 孙伟锋 ,  李胜 ,  徐志远 ,  杨卓 ,  张小双 ,  刘斯扬 ,  陆生礼 ,  时龙兴

IPC: H01L29/739 ,  H01L21/331

Abstract: 一种低噪声低损耗绝缘栅双极型晶体管，包括：底部设有集电极金属电极的P型衬底，在P型衬底上方设有N型缓冲层，N型缓冲层上设有N型外延层，在N型外延层内设有一维阵列分布的P型体区，并在其中设有重掺杂N型发射区，在P型体区与N型外延层之间设有N型载流子存储层，所述晶体管还包括按一维阵列分布的侧壁覆盖有隔离氧化层的沟槽，各个沟槽横向贯穿各P型体区、重掺杂N型发射区及N型外延层，在沟槽内设有和金属层相连的二极管，在各沟槽下方分别设有重掺杂P阱；在位于相邻沟槽之间的N型外延层的上方分别设有栅氧化层，在栅氧化层上方覆盖有多晶硅栅极；将各个重掺杂N型发射区、P型体区和第二金属连接层连接，作为器件的发射极。