公开(公告)号：CN107497413A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710622273.3

申请日：2017-07-27

Applicant: 东华大学

Inventor： 张菁 ,  徐雨 ,  李灵均

IPC: B01J21/06 ,  B01J35/02 ,  B01J37/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/453 ,  C23C16/56

CPC classification number: B01J35/004 ,  B01J21/063 ,  B01J35/02 ,  B01J37/349 ,  C23C16/405 ,  C23C16/453 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明涉及一种黑色二氧化钛涂层的制备方法，包括：(1)常压、室温至200℃的条件下，在反应腔体中，通入TiCl4、O2和放电气体的混合气体，开启常压kHz射频等离子体电源，沉积得到TiO2涂层；(2)将上述电源更换为常压MHz射频等离子体电源，通入氦气和氢气的混合气体，开启射频电源产生氢等离子体，常温下处理，得到黑色二氧化钛涂层。本发明极大的改变了二氧化钛材料的能带和光响应范围，获得的黑色TiO2涂层在可见光、红外光区的吸收提高，可见/红外光催化活性大幅提高；同时由于可以沉积涂敷在聚合物等材料表面，在染料敏化太阳能电池、可见光制氢和环境治理等实际应用中具有重要的价值。