公开(公告)号：CN211406413U

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202020485573.9

申请日：2020-04-06

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 徐强 ,  田赫 ,  李景奎 ,  崔金刚

IPC: H05G2/00

Abstract: 本实用新型公开了一种软X射线光源装置，包括用于控制激光的延时控制器及激光器，真空放电室、探测系统和高压直流电源。所述探测系统包括增强CCD和极紫外光谱仪，所述真空放电室位于所述激光器旁的一侧安装高透镜，所述延时控制器连接激光器，所述高透镜在同一水平面的旁侧依次安装有透镜、半反半透镜，所述激光器产生的激光直射于正下方的半反半透镜上，再经过所述透镜及高透镜聚焦所述真空放电室内的目标靶材，产生预电离等离子体，经过所述真空放电室内阴极与阳极之间高压放电，实现“水窗波”段软X射线输出。本实用新型可以获得较高功率的、稳定的软X射线输出，具有体积小，运行成本低的优点。

公开(公告)号：CN211404454U

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202020440395.8

申请日：2020-03-31

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 徐强 ,  崔金刚 ,  李景奎

IPC: H01J61/04 ,  G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开了一种用于激光辅助放电EUV光源用的末级电极结构，包括位于放电室的阳极、阴极与绝缘层，所述阳极的电极端采用圆锥形结构，所述阴极为圆柱体，其通过金属连接杆连有一个圆盘状的锡靶。所述阳极的电极端、放电室与锡靶均位于同一个水平面，激光通过聚焦系统照射在所述圆盘状锡靶的侧面中央位置，产生预电离等离子体。所述锡靶可沿其中心轴转动，从而保证激光每次打靶在图中的位置不变，但锡靶表面的相对位置改变，这就保证了每一次放电时锡靶表面状态的稳定性。所述阳极和锡靶之间的距离可调，从而保证放电时等离子体尺寸可以控制。本实用新型结构简单，操作方便，并且能保证光源工作的稳定性。