一种温度可控的薄膜力学性能测试装置

    公开(公告)号:CN107462474A

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201710635867.8

    申请日:2017-07-31

    Applicant: 东北大学

    Inventor: 马树军 李忠明

    Abstract: 本发明提出了一种温度可控的薄膜力学性能测试装置,属于材料性能测试、光测力学技术领域。测试装置主要由温度控制部分、挠度测量部分、压力加载部分、试件夹持结构、数据接收与显示部分组成。测试时,电加热带加热压力腔内部气体到达某一温度,推动注射器进行压力加载,压力腔内部的均流板使作用在薄膜上的压力比较均匀,不断升高的压力使安装在试件台上的薄膜发生鼓膜形变,试件台上方的激光位移传感器实时测量薄膜形变的中心挠度。数据接收与显示部分接收压力和挠度数据并显示。结合鼓膜法理论模型,根据测量的压力与挠度等数据,可以得到某一温度下薄膜的弹性模量等力学参数。

    一种薄膜力学性能实时测试装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107389459A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:CN201710565352.5

    申请日:2017-07-12

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明提出了一种薄膜力学性能实时测试装置,属于光测力学、材料力学性能测试技术领域。测试装置主要包括激光挠度测量部分、压力加载部分、薄膜夹持结构。测试时,步进电机推动气缸实现压力加载,薄膜发生鼓膜形变,同时利用迈克尔逊激光干涉原理测量薄膜的挠度。通过压力传感器和硅光电池分别检测压力和挠度。使用可编程器FPGA实现步进电机控制、数据采集及上位机通信,上位机实现数据显示和处理。本发明结合光测技术和鼓膜法原理,可以进行薄膜力学性能的测试,适用于表面有一定反光度的弹塑性薄膜。

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